特許
J-GLOBAL ID：200903036801765815
流量・流速計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-280781
公開番号（公開出願番号）：特開平5-093639
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】 簡単な回路構成で、外気温度に対する補正を可能にし、正確な流体速度または流量を検出する。【構成】 流体の流れ方向vに沿って上流側から上流側温度検出部11,ヒータ部9,下流側温度検出部12の順にセンサ本体2の流速検出面2Aに配設し、ヒータ部11に並列に基板部2Bの裏側に温度補正部10を設ける。そして、前記温度補正部10とヒータ部9とをサーミスタにより構成し、各温度検出部11,12をポジスタにより構成する。また、上流側温度検出部11,ヒータ部9,下流側温度検出部12の直列回路には定電流電源13から所定電流Iを供給し、各増幅回路15,16,17により各温度検出部11,12の温度差を出力電圧V0 として検出する。
請求項（抜粋）：
流路内に流体の流れに沿って配設される基板と、該基板の表面中央部に配設され、該基板上の温度分布を中央部から上流および下流に行くに従って低くなるように加熱する正または負の温度特性を有する素子からなるヒータ部と、前記流路外に位置して該ヒータ部に並列に接続され、前記ヒータ部の抵抗値よりも大きい抵抗値で、かつ該ヒータ部と同じ温度特性を有する素子からなる温度補正部と、前記ヒータ部の上流,下流側に位置して該ヒータ部から所定間隔を離間して前記基板の表面にそれぞれ配設され、前記ヒータ部の抵抗値に対して極めて小さい抵抗値で、かつ該ヒータ部と異なる温度特性を有する素子からなる上流側温度検出部,下流側温度検出部と、該下流側温度検出部,ヒータ部および上流側温度検出部からなる直列回路に所定電流を供給する定電流供給手段と、前記各温度検出部からの検出信号により流量・流速を検出する流量・流速検出手段とから構成してなる流量・流速計測装置。
IPC (2件)：
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