回折格子型偏光子とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-170938
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005316
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】斜め蒸着法を用いた複屈折膜をエッチングしないで下地の特性を利用して複屈折性を調整して回折格子型偏光子を製作すること。【構成】基板上に一定間隔で格子状の誘電体膜を蒸着し、前記基板及び誘電体膜の全体に、斜め蒸着法で複屈折材料を蒸着することにより下地の違いによる複屈折性の違いを有する複屈折膜を形成する。

請求項（抜粋）：