特許
J-GLOBAL ID：200903036808688425
電子顕微鏡の自動可動絞り装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-134292
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349435
出願日： 1993年06月04日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】電子顕微鏡の可動絞り装置で、電子線位置を検出する機能を有し、電子線の最適位置に絞り穴を自動設定可能とする自動可動絞り装置。【構成】絞り軸1は電子顕微鏡4の電子線19の通路に気密ベローズ3を介して設定される。設定位置は検出センサー15と位置センサー16で位置検出24される。絞り穴18を通過した電子線19は蛍光板20で可視化され二次元センサー21で電子線19の重心検出22が行われる。設定値との比較回路23で誤差分を制御部26にて絞り駆動25で絞り穴18が設定される。
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡の可動絞り装置で、光軸の最適位置または任意位置に自動的に絞り穴を設定可能とする電子顕微鏡の自動可動絞り装置。
IPC (3件)：
H01J 37/09
, H01J 37/04
, H01J 37/26
