特許

J-GLOBAL ID：200903036813811359

レーザ接合方法及び装置

発明者： 若林 浩次
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-254136
公開番号（公開出願番号）：特開2001-071159
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】TFT配線上の欠陥を救済するため冗長回路をレーザを用いて接合する場合、レーザ入熱による悪影響を最小限に抑え、かつ速やかにレーザ接合を完了できるレーザ接合方法及び装置を提供する。【解決手段】接合に要するエネルギーを予め定められた回数の複数のパルスショットに分け、その回数以降は、接合が進むか否かの瀬戸際のエネルギー値であるスレシホールド値となるように照射回数に基づいて各パルスショットのエネルギー値を予め規定する。パルス照射後、毎回、照射と反対側から接合部の接合状態を監視し、接合したと判断したときパルスレーザ光の照射を停止する。

請求項（抜粋）：

基板内部で重なって配設された複数の電極パターンの重なり部分に対して行う複数回のレーザ光のパルス照射について、最初から予め定められた回数のパルス照射のエネルギーの総和が、前記複数の電極パターンを溶融して接合するのに要すると予想されるエネルギーとなるように、かつ、前記予め定められた回数のパルス照射の最終パルス照射以降は、前記溶融が進行するかしないかの瀬戸際のエネルギーであるスレシホールド値となるように照射回数に応じた各パルス照射のエネルギーを規定し、照射回数に応じて規定されたエネルギーで接合する部分にレーザ光をパルス照射し、各パルス照射の後に照射と反対側から前記照射部の接合状態を観察して接合したか否かを検出し、接合していないときは照射回数に応じて規定されたエネルギーのパルス照射を行い、接合したときはパルス照射を停止することを特徴とするレーザ接合方法。

IPC (6件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/02 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1343 ,  H01S 3/00 ,  B23K101:40

FI (6件)：

B23K 26/00 C ,  B23K 26/00 N ,  B23K 26/02 Z ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1343 ,  H01S 3/00 B

Fターム (20件)：

2H088FA15 ,  2H088FA30 ,  2H088HA02 ,  2H088MA20 ,  2H092JB73 ,  2H092MA30 ,  2H092MA52 ,  2H092NA12 ,  2H092NA29 ,  4E068BA00 ,  4E068CA03 ,  4E068CA17 ,  4E068CB01 ,  4E068CC02 ,  5F072HH02 ,  5F072HH03 ,  5F072JJ02 ,  5F072KK05 ,  5F072SS06 ,  5F072YY06