特許
J-GLOBAL ID:200903036815921178
微小領域観察装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高田 幸彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-227791
公開番号(公開出願番号):特開平11-067138
出願日: 1997年08月25日
公開日(公表日): 1999年03月09日
要約:
【要約】【課題】軽元素の高感度分析を可能にしつつ、分析結果に対する試料ドリフトの影響を防止するのに適した微小領域観察装置を提供すること。【解決手段】試料4は、走査コイル14を用いて、電子源1から放出される収束レンズ系3により収束された電子線で走査される。試料4を透過した電子線は電子線エネルギー分析器5に入射し、試料との相互作用でエネルギーを失わない部分7と一部のエネルギーを失った部分8が異なるエネルギーごとにCCDカメラ10上に集光される。CCDカメラからはエネルギ-ロススペクトル信号が走査位置ごとに読み出され、信号演算器11でジャンプレシオ等の方法で元素分布信号を求め、モニタ12にその表示を行う。
請求項(抜粋):
電子源と、該電子源からの電子線を試料に収束する手段と、前記試料を前記収束された電子線で走査する手段と、前記試料を透過した電子線をそのエネルギ-に応じて分光する手段と、前記試料の前記電子線による各走査位置の分光されたエネルルギ-スペクトルを検出する手段と、その検出されたエネルギ-スペクトルを表示する手段とを備えていることを特徴とする微小領域観察装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01J 37/244
, H01J 37/28 C
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