特許
J-GLOBAL ID：200903036822223249
低コストの中心取り付けされた容量型圧力検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-519696
公開番号（公開出願番号）：特表平9-510778
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：
【要約】縁部取り付けされたダイヤフラム16、16’、16”の中央に内側金属-無機誘電体-外側金属よりなる取付組立体18、18’、18”を使用して電極20、20’、20”を取りつけた優れた加工性の可変容量型圧力検出器。組立体中の内側金属であるポスト28、28’、28”はダイヤフラム16、16’、16”に半田付けされる。半田又は流動接着剤36、36’、36”は電極20、20’、20”を組立体中の外側金属であるカラー32、32’、32”に取りつける。その際に一時的な埋め部材40により初期のダイヤフラム-電極間隔に設定する。組立体中の無機誘電体であるガラス30、30’、30”の位置、金属部材28、28’、28”、32、32’、32”の長さは温度変化を自動補償するように調整される。好ましい低圧及び中圧測定では、ダイヤフラム16、16’、16”は中央凹入部16d、16d’、16d”を有するように金属板から型打ち加工されて固定されている組立体の回転を阻止し、そしてダイヤフラムの変形による応力をポスト-ダイヤフラム溶着部24、24’、34”から隔離する。高圧測定に対しては、中央ボス16cがこの溶着部を応力から隔離する。取付部材12、12’、12”はダイヤフラムの縁部を支持し、そのために端部に薄壁22、22’、22”を有するか、又はダイヤフラムが薄壁スカート部16e、16e”を有することによりダイヤフラム-取付部材の固着部24、24’、24”に加わる応力を軽減する。
請求項（抜粋）：
流体の圧力を対応した電気容量値に変換する可変容量型の圧力検出器において、 流体を第1端部から第2端部に向けて導くように軸線方向に延びている通路を有する取付部材、 周縁部を前記取付部材の第2端部の第1固着部で固定されているダイヤフラム、 前記ダイヤフラムの中央に固定されている第1金属部材と、前記第1金属部材の半径方向外側に少なくとも部分的に離間して配置された第2金属部材と、前記第1及び第2金属部材の間に固定された無機誘電スペーサリングとよりなる組立体、 前記第1金属部材を第2固着部で前記ダイヤフラムの中央に固定する手段、及び 電極を前記第2金属部材に前記電極と前記ダイヤフラムとの間にほぼ平行な離間関係を形成するようにして取りつけて可変コンデンサを形成する手段よりなり、 流体の圧力に応じて前記ダイヤフラムの撓みにより生じる前記電極とダイヤフラムの間の空隙の変化が前記流体圧力の容量的な尺度を与えるようにした、流体の圧力を対応した電気容量値に変換する可変容量型の圧力検出器。
IPC (3件)：
G01L 9/12
, G01L 1/14
, H01G 5/16
G01L 9/12
, G01L 1/14 A
, H01G 5/16
