圧電共振子の周波数調整方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-269557
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106892
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】個々の圧電共振子の周波数にバラツキがある場合でも、周波数調整インクの塗布量を自在に変更でき、高精度に調整できる圧電共振子の周波数調整方法を提供すること。【構成】本発明の周波数調整方法は、まず圧電共振子をその周波数が目標値より高目の周波数となるように製作し、その製作した圧電共振子の周波数を個々に測定する。次に、インクジェット方式のマーキング装置に予めドット密度の異なる複数のパターンを設定しておき、この設定されたパターンから圧電共振子の周波数に応じたパターンを決定し、かつこのパターンで周波数調整インクを塗布する回数を決定する。その後、決定されたパターンおよび回数で電極上に周波数調整インクを塗布すると、個々の共振子上には必要な膜厚の被膜が形成され、圧電共振子の周波数を目標値に高精度に調整できる。

請求項（抜粋）：

インクジェット方式のマーキング装置により圧電基板の表面に形成された電極上に周波数調整インクを塗布することにより、圧電共振子の周波数を調整する方法において、目標値より高目の周波数となるように圧電共振子を製作する工程と、上記製作した圧電共振子の周波数を測定する工程と、上記マーキング装置に予めドット密度の異なる複数種類の塗布パターンを設定する工程と、上記設定された塗布パターンから圧電共振子の周波数に応じた1種類または複数種類の塗布パターンを決定し、かつそのパターンで周波数調整インクを塗布する回数を決定する工程と、上記決定された塗布パターンおよび回数で電極上に周波数調整インクを塗布する工程と、を含む圧電共振子の周波数調整方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-289206
特開平3-289807
特開平4-326613

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