特許

J-GLOBAL ID：200903036828042939

研磨布

発明者： 花本 崇志 ,  服部 峰雄 ,  横道 安二
出願人/特許権者： ロデール・ニッタ株式会社
代理人 (1件)： 辻本 一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-381533
公開番号（公開出願番号）：特開2003-188124
出願日： 2001年12月14日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】 従来よりもベルト内側へスラリーが入り込み難い研磨布を提供しようとするもの。【解決手段】 終点検出用の開孔窓部を有する研磨ベルト2に貼付される研磨布であって、前記研磨ベルト2の開孔窓部5に対応する箇所には終点検出用の光の透過性フィルム7が貼付されると共に前記透過性フィルム7にはライナー9が貼付され、前記研磨ベルトへの貼付面の開孔窓部5に対応する箇所以外には粘着層を介してライナー9が貼付された。この研磨布1は、研磨ベルト2の開孔窓部5に対応する箇所には終点検出用の光の透過性フィルム7が貼付されており、この透過性フィルム7を介して被研磨物の表面状態の終点の検出が可能である。

請求項（抜粋）：

終点検出用の開孔窓部を有する研磨ベルトに貼付される研磨布であって、前記研磨ベルトの開孔窓部に対応する箇所には終点検出用の光の透過性フィルムが貼付されると共に前記透過性フィルムにはライナーが貼付され、前記研磨ベルトへの貼付面の開孔窓部に対応する箇所以外には粘着層を介してライナーが貼付されたことを特徴とする研磨布。

IPC (4件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 21/00 ,  B24B 37/00 ,  B24B 37/04

FI (4件)：

H01L 21/304 622 F ,  B24B 21/00 Z ,  B24B 37/00 C ,  B24B 37/04 K

Fターム (6件)：

3C058AA05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17