特許
J-GLOBAL ID:200903036836428986
基板のための行程装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外4名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-594728
公開番号(公開出願番号):特表2002-535154
出願日: 2000年01月13日
公開日(公表日): 2002年10月22日
要約:
【要約】ホルダを備えた、基板のための行程装置において可能な限り簡単にスピンドル交換を可能にするために、ホルダが、このホルダの回動または旋回によって基板支持体と係合可能であるように形成されてる。
請求項(抜粋):
基板のための行程装置(2)であって、ホルダ(10)が設けられている形式のものにおいて、ホルダ(10)が、該ホルダ(10)の回動または旋回によって基板支持体(25)と係合可能であり、ホルダ(10)の回動または旋回が、基板支持体(25)の運動によって生ぜしめられるようになっていることを特徴とする、基板のための行程装置。
IPC (3件):
B25J 15/00
, B25J 15/06
, G11B 7/26
FI (3件):
B25J 15/00 A
, B25J 15/06 S
, G11B 7/26
Fターム (24件):
3C007AS01
, 3C007AS24
, 3C007CT05
, 3C007CV07
, 3C007CW07
, 3C007CW10
, 3C007CY13
, 3C007CY36
, 3C007DS01
, 3C007ES03
, 3C007ET02
, 3C007EU09
, 3C007EV04
, 3C007FS08
, 3C007FT10
, 3C007HS27
, 3C007KS03
, 3C007KS09
, 3C007LV07
, 3C007NS09
, 3C007NS14
, 5D121AA02
, 5D121JJ03
, 5D121JJ04
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (7件)
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