特許

J-GLOBAL ID：200903036840606856

傾斜機能材料の製法および装置

発明者： 大塚 昭彦 ,  新井山 政人
出願人/特許権者： 日新製鋼株式会社
代理人 (1件)： 和田 憲治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-028882
公開番号（公開出願番号）：特開平8-199372
出願日： 1995年01月26日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】【目的】 膜厚方向に連続した組成勾配をもつ微細組織の傾斜機能材料を製造する。【構成】 プラズマフレームが炉内に放射するようにプラズマトーチを取り付けたプラズマ炉において,該プラズマ中に粉状原料を投入して該原料をガス化し,このガス化した成分を互いに会合させて粒径が1μm以下の超微粒子を該プラズマ炉内で生成させ,この超微粒子を同伴した流体を基板表面に衝突させることにより,基板表面に該超微粒子の付着層を形成し,そのさい,付着層の形成時間帯の間,プラズマ中に投入する粉状原料の組成を変化させることにより傾斜組成をもつ付着層を形成させ,得られた付着層をロールで圧延することからなる傾斜機能材料の製法。

請求項（抜粋）：

プラズマフレームが炉内に放射するようにプラズマトーチを取り付けたプラズマ炉において,該プラズマ中に粉状原料を投入して該原料をガス化し,このガス化した成分を互いに会合させて粒径が1μm以下の超微粒子を該プラズマ炉内で生成させ,この超微粒子を同伴した流体を基板表面に衝突させることにより,基板表面に該超微粒子の付着層を形成し,そのさい,付着層の形成時間帯の間,プラズマ中に投入する粉状原料の組成を変化させることにより傾斜組成をもつ付着層を形成させ,得られた付着層をロールで圧延することからなる傾斜機能材料の製法。

IPC (6件)：

C23C 26/00 ,  B01J 19/08 ,  H01B 5/02 ,  H01B 13/00 501 ,  C23C 4/12 ,  C23C 14/22