特許
J-GLOBAL ID：200903036843542336
半導体流量計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-268393
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113325
出願日： 1995年10月17日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 簡潔な構成により小流量が容易に測定でき、且つ、安価な半導体流量計を提供する。【解決手段】 測定管路の管壁に、流量検出器が設けられた半導体流量計において、前記測定管路の管壁に設けられた切り欠き部と、該切り欠き部を覆って設けられた受圧ダイアフラムと、該受圧ダイアフラムに対向して前記測定管路外側に設けられた基板と、該基板に設けられたシリコン半導体圧力検出素子と、該シリコン半導体圧力検出素子を覆って設けられた弾性を有する被覆体と、該被覆体と前記受圧ダイアフラムとを連結する伝達棒と、前記シリコン半導体圧力検出素子の圧力変化に対応した電気信号から流量を演算する演算回路とを具備したことを特徴とする半導体流量計である。
請求項（抜粋）：
測定管路の管壁に、流量検出器が設けられた半導体流量計において、前記測定管路の管壁に設けられた切り欠き部と、該切り欠き部を覆って設けられた受圧ダイアフラムと、該受圧ダイアフラムに対向して前記測定管路外側に設けられた基板と、該基板に設けられたシリコン半導体圧力検出素子と、該シリコン半導体圧力検出素子を覆って設けられた弾性を有する被覆体と、該被覆体と前記受圧ダイアフラムとを連結する伝達棒と、前記シリコン半導体圧力検出素子の圧力変化に対応した電気信号から流量を演算する演算回路とを具備したことを特徴とする半導体流量計。
IPC (2件)：
G01F 1/38
, G01L 9/04 101
G01F 1/38
, G01L 9/04 101
