特許

J-GLOBAL ID：200903036851689079

石英ガラス封着体

発明者： 安藤 弘道 ,  関根 正志
出願人/特許権者： 株式会社フジ電科
代理人 (1件)： 雨宮 正季
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-102537
公開番号（公開出願番号）：特開2004-307252
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】ステンレス、鉄、Fe/Ni/Co合金、Fe/Ni合金などに容易に石英ガラスを封着可能で、基本的に鉛を含まない封着ガラス層を備えた石英ガラス封着体を提供する。【解決手段】中空円筒状の外周金属1の内壁に封着ガラス2を介して石英ガラス3を気密に封着した三重円筒構造の石英ガラス封着体において、前記封着ガラスは前記石英ガラスと外周金属の中間に位置する熱膨張係数を有するホウ珪酸系ガラスである。【効果】単層の封着ガラスを用いて封着されるので、石英ガラスを直接融着する温度域まで上げる必要が無く、外周金属の選定において白由度が広まり、かつ一回の封着作業で完成し、表面の平坦度を維持し、組み立て精度の向上になる。封着ガラスとしてホウ珪酸系の無鉛硬質ガラスを使用し、環境に影響を与えず、高耐熱・高強度・高気密を有した高信頼性製品を製造可能とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

中空円筒状の外周金属の内壁に封着ガラスを介して石英ガラスを気密に封着した三重円筒構造の石英ガラス封着体において、前記封着ガラスは前記石英ガラスと外周金属の中間に位置する熱膨張係数を有するホウ珪酸系ガラスであることを特徴とする石英ガラス封着体。

IPC (2件)：

C03C27/04 ,  C03C8/02

FI (2件)：

C03C27/04 B ,  C03C8/02

Fターム (18件)：

4G061AA02 ,  4G061AA13 ,  4G061BA12 ,  4G061CA03 ,  4G061CB04 ,  4G061CB13 ,  4G061CC03 ,  4G061CD06 ,  4G061CD14 ,  4G061DA26 ,  4G062AA08 ,  4G062AA09 ,  4G062BB05 ,  4G062CC01 ,  4G062DA02 ,  4G062DC02 ,  4G062MM11 ,  4G062NN29

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-069749
  
• 低膨張ガラス組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-243995   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構
• 特開昭58-069749
  
• 特開昭59-152246