特許
J-GLOBAL ID：200903036853944920
ワイヤソーによる切断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-354576
公開番号（公開出願番号）：特開平5-169434
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】高純度アルミナに代表される超硬質材料をワイヤソーで高能率、高精度、低コストで製造し得る切断方法を提供する。【構成】所定ピッチに張設したワイヤ列5を一方向に走行させつつ、該ワイヤ列の直下よりワーク10を上昇させる。このワイヤ列5とワーク10との接触部にボロンカーバイド砥粒を含有する砥液を供給して切断する。
請求項（抜粋）：
所定ピッチに張設したワイヤ列を一方向に走行させつつ、該ワイヤ列の直下より被切断材料を上昇させ、ワイヤ列と被切断材料との接触部に砥粒を含む加工液を供給して切断する一方向走行型ワイヤソーにおいて、前記加工液として、ボロンカーバイド砥粒を含有する砥液を用いることを特徴とするワイヤソーによる切断方法。
IPC (3件)：
B28D 1/22
, B24B 27/06
, H01L 21/304 311
