特許

J-GLOBAL ID：200903036855662809

ステージ装置とホルダ、および走査型露光装置並びに露光装置

発明者： 林 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-052558
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244177
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 温度制御精度に過多に依存することなく、基板に対する位置決め精度を維持する。【解決手段】 基板W1、W2を保持するホルダWH1、WH2と、ホルダWH1、WH2と所定の位置関係で配設された移動鏡20、22からの反射光に基づいて、基板W1、W2の位置を検出する位置検出装置9とを備え、移動鏡20、22の母材とホルダWH1、WH2とが熱膨張係数が1×10-6/°C以下のセラミックスからなる。

請求項（抜粋）：

ステージ装置において、基板を保持するホルダと、前記ホルダと所定の位置関係で配設された移動鏡からの反射光に基づいて、前記基板の位置を検出する位置検出装置とを備え、前記移動鏡の母材と前記ホルダとが1×10-6/°C以下の熱膨張係数を有するセラミックスからなることを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G01B 11/00 B ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 515 F

Fターム (43件)：

2F065AA03 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065EE02 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL09 ,  2F065LL13 ,  2F065LL30 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA14 ,  5F031HA57 ,  5F031KA06 ,  5F031KA15 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11 ,  5F031PA18 ,  5F031PA21 ,  5F031PA30 ,  5F046AA22 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC08 ,  5F046CC09 ,  5F046CC16 ,  5F046CC17 ,  5F046CC20 ,  5F046DA06 ,  5F046DA07 ,  5F046DA26 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11 ,  5F046DC04 ,  5F046DC10