研磨装置及び研磨方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中林幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-216238
公開番号（公開出願番号）：特開2002-028852
出願日： 2000年07月17日
公開日（公表日）： 2002年01月29日
要約：

【要約】【課題】下定盤、上定盤、吊下げ機構の芯振れを防止し、安定した研磨精度が得られるようにする。【解決手段】上定盤を吊下げる吊下げ機構のインナープレート38に、その中心部に設けられている孔39の周縁部に一対のドライバーフック59、59と3つのガイドローラー66、74、74とを設ける。ドライバーフック59は、孔39の中心を中心として対向した位置に一対設けられる。ガイドローラー66、74、74は、孔39の周縁部に120°間隔ごとに3箇所に設けられる。上定盤を下降させると、ドライバーフック59がドライバー8のドライバーフック用の溝9内に係合するとともに、ガイドローラー66、74、74がドライバー8のガイドローラー用の溝10と係合する。3つのガイドローラー66、74、74によってドライバー8の芯振れが抑えられ、上定盤の芯振れが抑えられる。

請求項（抜粋）：

回転可能に設けられる下定盤と、前記下定盤の上方に対向して設けられるとともに、回転可能かつ昇降可能な上定盤と、前記下定盤と前記上定盤との間に設けられるとともに、被研磨物を保持可能なキャリアと、前記下定盤の中心部に回転可能に設けられるドライバーと、前記上定盤側に設けられるとともに、上定盤の下降時に前記ドライバーに係合するドライバーフックとを具えた研磨装置において、前記上定盤側に、上定盤を下降させた時に前記ドライバーの外周面に当接するガイドローラーを複数設けたことを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 621

FI (2件)：

B24B 37/04 F , H01L 21/304 621 A

Fターム (6件)：

3C058AA14 , 3C058AC01 , 3C058CB01 , 3C058DA06 , 3C058DA09 , 3C058DA18

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