特許
J-GLOBAL ID：200903036871231443
高純度炭化珪素体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-311347
公開番号（公開出願番号）：特開平5-124864
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【構成】 熱分解窒化硼素基材の表面に化学気相蒸着法で炭化珪素膜を形成した後、上記基材を除去することを特徴とする高純度炭化珪素体の製造方法。【効果】 化学気相蒸着法による高純度の炭化珪素のみからなる炭化珪素体を短時間で効率よくしかも経済的に製造することができる。
請求項（抜粋）：
熱分解窒化硼素基材の表面に化学気相蒸着法で炭化珪素膜を形成した後、上記基材を除去することを特徴とする高純度炭化珪素体の製造方法。
IPC (3件)：
C04B 35/56 101
, C01B 31/36
, C04B 41/87
