放射電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047546
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235439
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】高い空間分解能で良質な電子像を得られ、かつ、放電による試料の損傷を防止することができる放射電子顕微鏡を提供する。【解決手段】試料6の表面から放出された特定の運動エネルギーを持つ電子を集束する球面鏡電子選別器1と、その球面鏡電子選別器1内に設けられ、集束される電子の試料6の表面における放出角度を制限するアパーチャー8と、球面鏡電子選別器1の集束点を試料6の表面における電子の放出点として、その電子像を投影して試料6の表面の拡大像を得る電子像形成部(9、10)と、を少なくとも有する。

請求項（抜粋）：

試料の表面から放出された特定の運動エネルギーを持つ電子を集束する球面鏡と、前記球面鏡によって集束される電子の試料表面における放出角度を制限するアパーチャーと、前記球面鏡の集束点を前記試料表面における電子の放出点として、その電子像を投影して試料表面の拡大像を得る電子像形成手段と、を少なくとも有することを特徴とする放射電子顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 23/227 , H01J 37/285

FI (2件)：

G01N 23/227 , H01J 37/285

Fターム (15件)：

2G001AA01 , 2G001AA07 , 2G001BA07 , 2G001BA08 , 2G001CA03 , 2G001DA01 , 2G001EA04 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA13 , 2G001HA12 , 2G001HA13 , 2G001JA04 , 2G001SA04

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭63-126149
特開昭63-126148
特開昭52-127390

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審査官引用 (5件)

特開昭63-126149
特開昭63-126148
特開昭52-127390

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