特許
J-GLOBAL ID:200903036886497547
圧電型駆動体及びその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
稲元 富保
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-238792
公開番号(公開出願番号):特開2003-051627
出願日: 2001年08月07日
公開日(公表日): 2003年02月21日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 駆動効率が高く、特性変動要因が少ない積層圧電型駆動体およびその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置を提供する。【解決手段】圧電体層11は、圧電体層11と内部電極12,13とを交互に複数層積層配置し、かつ、各圧電体層11は、1層毎に千鳥状にずらして配置し、積層面の一部(領域C)は隣接する圧電体層11と接していないので、領域Cの部分によって空間17を形成する。各圧電体11および内部電極12,13の一端部には、それぞれ内部電極12,13に接続した外部電極14,15を設けている。
請求項(抜粋):
圧電材料からなる圧電体層と内部電極とが交互に複数層積層され、前記内部電極間に電圧を印加することにより変位を発生する積層圧電型駆動体において、前記圧電体層は、1層毎に千鳥状にずれて配置され、積層面の一部は隣接する圧電体層と接していないことを特徴とする圧電型駆動体。
IPC (7件):
H01L 41/083
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H02N 2/00
FI (6件):
H02N 2/00 B
, H01L 41/08 Q
, B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/08 U
, H01L 41/22 Z
Fターム (8件):
2C057AF51
, 2C057AG42
, 2C057AG47
, 2C057AG94
, 2C057AP14
, 2C057AP21
, 2C057BA03
, 2C057BA14
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