化学物質の検出装置、及び、その濃度測定方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工藤実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-141331
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329743
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】特定物質のイオン化エネルギーに合わせることにより、その物質を選択的にイオン化することができる電子ビームを用いることを前提として、特定物質のイオン化効率を高め、その特定物質の分解確率を低減する。【解決手段】電子ビーム7を発生させ、電子ビーム7によりイオン化されたサンプルガス8を加速する。電子ビーム7のエネルギーの幅を積極的に狭くするための幅調整装置14,15とからなる。電子ビームのエネルギーを積極的に調整することにより特定物質をその分解確率を低減させて選択的にイオン化する。更に、その幅を調整することにより、その確率を選択的に一層に低減させる。イオントラップ16を設けることは、その存在確率を飛躍的に増大させる点で、特に、有効である。

請求項（抜粋）：

所定のエネルギーレベルの電子ビームを発生させるための装置と、前記電子ビームによりイオン化されたサンプルガスを加速するための装置と、前記電子ビームのエネルギーの幅を積極的に狭くするための幅調整装置とからなる化学物質の検出装置。

IPC (3件)：

G01N 27/62 , G01N 30/72 , H01J 49/26

FI (5件)：

G01N 27/62 V , G01N 27/62 G , G01N 30/72 A , G01N 30/72 C , H01J 49/26

Fターム (2件)：

5C038GG01 , 5C038HH02

引用特許：

審査官引用 (6件)

質量分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-124899 出願人：川崎製鉄株式会社
特開平3-210463
特開平3-210463

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