特許
J-GLOBAL ID：200903036890767141
ターボ分子ポンプによる排気方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-077301
公開番号（公開出願番号）：特開平5-280466
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：
【要約】【目的】 水蒸気,水素に対するターボ分子ポンプの排気性能を向上する。【構成】 被排気室に連結されたターボ分子ポンプの吸気配管3に、室内に冷却可能な熱交換手段10及び水素吸蔵体14をそれぞれ有する伸縮可能な第1,第2退避室7,11を設け、第1退避室と吸気配管間に、排気されるガス中に水蒸気が多く含まれる第1圧力領域内,外でそれぞれ開,閉される第1仕切り手段8を設け、第2退避室と吸気配管間に、排気されるガス中に水素が多く含まれる第2圧力領域内,外でそれぞれ開,閉される第2仕切り手段12を設け、第1,第2退避室にはそれぞれ吸気配管内と第1,第2退避室内に熱交換手段及び水素吸蔵体を挿入,退避する第1,第2進退手段9,13を設ける。
請求項（抜粋）：
被排気室(1)に連結されたターボ分子ポンプ(4)の吸気配管(3)に、第1仕切り手段(8)を介して室内に冷却可能な熱交換手段(10)を有する伸縮可能な第1退避室(7)と、第2仕切り手段(12)を介して室内に水素吸蔵体(14)を有する伸縮可能な第2退避室(11)を設け、排気されるガス中に水蒸気が多く含まれる第1圧力領域では第1仕切り手段(8)を開き、吸気配管(3)内に熱交換手段10を第1進退手段(9)により挿入して冷却された熱交換手段(10)に水蒸気を氷結捕集し、第1圧力領域外で第1退避室(7)内に熱交換手段(10)を第1進退手段(9)により退け、第1仕切り手段(8)を閉じて封じ込め、排気されるガス中に水素が多く含まれる第2圧力領域では第2仕切り手段(12)を開き、吸気配管(3)内に水素吸蔵体(14)を第2進退手段(13)により挿入して水素吸蔵体(14)に水素を吸蔵し、第2圧力領域外で第2退避室(11)内に水素吸蔵体(14)を第2進退手段(13)により退け、第2仕切り手段(12)を閉じて封じ込めることを特徴とするターボ分子ポンプによる排気方法。
IPC (2件)：
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