特許

J-GLOBAL ID：200903036904092223

真空蒸着方法

発明者： 町田 敏則 ,  尾崎 邦彦
出願人/特許権者： 東洋インキ製造株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-135519
公開番号（公開出願番号）：特開平8-003727
出願日： 1994年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：

【要約】【目的】珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給/排出する真空蒸着方法において、原料組成を反映した組成の蒸着膜を得る真空蒸着方法の提供。【構成】珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給/排出する真空蒸着方法において、珪素酸化物類の蒸着速度/アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の蒸着速度の比を、9.5〜7.5/2.5〜0.5とすることを特徴とする真空蒸着方法。【効果】珪素酸化物依存のバリヤー性,寸法安定性等とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物依存の高透明性を両立する蒸着フィルムが得られるようになった。

請求項（抜粋）：

珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給/排出する真空蒸着方法において、珪素酸化物類の蒸着速度/アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の蒸着速度の比を、9.5〜7.5/2.5〜0.5とすることを特徴とする真空蒸着方法。

IPC (2件)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 蒸着フィルムおよびその透明化方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-078551   出願人：東洋インキ製造株式会社
• 特開平1-252768
  
• 特開平2-277774