特許

J-GLOBAL ID：200903036907542033

非蒸発型ゲッター

発明者： 沢田 隆夫 ,  藤川 正洋
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 朝日奈 宗太 ,  佐木 啓二 ,  秋山 文男 ,  田中 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-372014
公開番号（公開出願番号）：特開2004-202309
出願日： 2002年12月24日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】プレスや焼成による一体成型が不要であり、かつマイクロパーティクルの脱離のないゲッターを得る。【解決手段】粉末状のゲッター材をメッシュで包囲してなり、該メッシュが、ゲッター材と反応しない材料からなりゲッター材よりも細かい編み目を有する非蒸発型ゲッター。また、活性化のためのヒータを有し、該ヒータの引き出し線がメッシュの外へと引き出されていてもよい。ゲッター材は、Zr-V-Fe合金を粉砕して粒子径20〜200μmの粉末としたものが好ましい。メッシュの材料としてはステンレスが好ましく、ゲッター材の粒子径が20〜50μmの場合、目開きは5〜10μmが好ましい。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

粉末状のゲッター材をメッシュで包囲してなり、該メッシュが、ゲッター材と反応しない材料からなりゲッター材よりも細かい編み目を有する非蒸発型ゲッター。

IPC (4件)：

B01J20/02 ,  B01J20/34 ,  H01J7/18 ,  H01J29/94

FI (4件)：

B01J20/02 Z ,  B01J20/34 H ,  H01J7/18 ,  H01J29/94

Fターム (11件)：

4G066AA02B ,  4G066BA09 ,  4G066BA12 ,  4G066DA03 ,  4G066GA02 ,  5C032AA01 ,  5C032AA07 ,  5C032JJ08 ,  5C032JJ17 ,  5C235JJ10 ,  5C235JJ19