特許

J-GLOBAL ID：200903036910973908

化学研磨廃液の過酸化水素分解方法

発明者： 高橋 健一 ,  森山 賢一 ,  木暮 直毅
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-183958
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001358
出願日： 2000年06月20日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
要約：

【要約】【課題】 過酸化水素を含有する化学研磨液について、操作性・環境面に優れた過酸化水素分解法を提供する。【解決手段】 過酸化水素を含有する化学研磨廃液に金属バナジウム又はバナジウム化合物を添加する。

請求項（抜粋）：

過酸化水素を含有する化学研磨廃液に金属バナジウム又はバナジウム化合物を添加することを特徴とする化学研磨廃液の過酸化水素分解方法。

IPC (5件)：

C02F 1/58 ZAB ,  B01J 23/22 ,  B01J 27/053 ,  B01J 27/12 ,  B01J 31/18

FI (5件)：

C02F 1/58 ZAB H ,  B01J 23/22 M ,  B01J 27/053 M ,  B01J 27/12 M ,  B01J 31/18 M

Fターム (29件)：

4D038AA08 ,  4D038AB26 ,  4G069AA02 ,  4G069BA26A ,  4G069BA26B ,  4G069BB02A ,  4G069BB02B ,  4G069BB04A ,  4G069BB04B ,  4G069BB06A ,  4G069BB06B ,  4G069BB08B ,  4G069BB10A ,  4G069BB10B ,  4G069BC02A ,  4G069BC02B ,  4G069BC03A ,  4G069BC03B ,  4G069BC54A ,  4G069BC54B ,  4G069BD15B ,  4G069BE17A ,  4G069BE17B ,  4G069CA05 ,  4G069CA10 ,  4G069CA11 ,  4G069DA02 ,  4G069DA08 ,  4G069EA01Y

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 無機質組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-140381   出願人：積水化学工業株式会社