特許
J-GLOBAL ID：200903036912936538
ウエーハ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-217686
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055345
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハを処理装置へ搬入するウェーハ搬送装置の構造に関し、処理装置のスループットを低下させることなく異なる口径のウェーハを搬送することが可能なウェーハ搬送装置を提供することを目的とする。【構成】 水平移動手段11と、垂直の当接面を有するストッパ12とを備え、該ストッパ12は中心が同じで半径が異なる円弧からなる複数の当接面12a, 12b, 〜を階段状に備えており、該水平移動手段11と該ストッパ12との相対高さを変更することにより、異なる口径のウェーハ1A, 1B, 〜のいずれかを該ウェーハ1A或いは1B, 〜と同じ半径の円弧からなる当接面12a 或いは12b,〜に当接せしめて該水平移動手段11上で位置決めする。
請求項（抜粋）：
水平移動手段(11)と、垂直の当接面を有するストッパ(12)とを備え、該ストッパ(12)は中心が同じで半径が異なる円弧からなる複数の当接面(12a,12b,〜) を階段状に備えており、該水平移動手段(11)と該ストッパ(12)との相対高さを変更することにより、異なる口径のウェーハ(1A, 1B,〜) のいずれかを該ウェーハ(1A 或いは1B, 〜) と同じ半径の円弧からなる当接面(12a或いは12b,〜) に当接せしめて該水平移動手段(11)上で位置決めすることを特徴とするウェーハ搬送装置。
IPC (2件)：
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