カラーフィルタの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-289316
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140321
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】ブラックマトリクスパターンとフィルタ色パターンとのオーバーラップ部分に形成される盛り上がった突起部を除去することにある。【構成】フィルタ基板1上に遮光層2と該遮光層上に剥離可能なポジ型フォトレジスト層3を形成し、該レジスト層からマスクパターン3aを形成し、該マスクパターンをエッチングマスクとしてエッチング処理し、該マスクパターン下側にブラックマトリクスパターン2aを形成し、続いて前記マスクパターン上よりRed,Green,Blueの各着色パターンを順次パターン形成してフィルタ色パターン4を形成し、次に前記マスクパターンを溶解剥離してマスクパターン上にオーバーラップしている部分の前記フィルタ色パターンを除去することにより製造する。

請求項（抜粋）：

フィルタ基板1上に遮光層2と該遮光層上に剥離可能なポジ型フォトレジスト層3を形成し、該レジスト層からマスクパターン3aを形成し、該マスクパターン3aをエッチングマスクとしてエッチング処理し、該マスクパターン3a下側にブラックマトリクスパターン2aを形成し、続いて前記マスクパターン3a上よりRed,Green,Blueの各着色パターンを順次パターン形成してフィルタ色パターン4を形成し、次に前記マスクパターン3aを溶解剥離してマスクパターン3a上にオーバーラップしている部分の前記フィルタ色パターン4を除去することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

前のページに戻る