特許
J-GLOBAL ID：200903036922151172
ヘリウムリークテスト装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
赤澤 一博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-050270
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243499
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】ワーク表面に付着しているヘリウムを質量分析部1が検出して漏れと誤判定する不具合を解消する。【解決手段】チャンバ2内を粗引きしている途中に、一旦粗引きを中断してチャンバ2内に大気導入を行い、しかる後、再び粗引きを再開するようにしたため、チャンバ2内に残留するヘリウムを効果的にフラッシングして残留ヘリウム量を速やかに低減し、質量分析部1における漏れ検出の実効を図ることができる。
請求項（抜粋）：
ヘリウムのみを検出する質量分析部と、被測定物を収容するチャンバと、前記質量分析部及びチャンバを真空排気するための排気手段と、チャンバ内をベントするための大気開放部と、これら質量分析部、チャンバ、排気手段及び大気開放部の間を相互に関連づける切替回路と、この切替回路を制御する制御手段とを具備してなり、この制御手段が、チャンバに対して大気開放部を遮断し排気手段を接続して粗引きしている状態から、一旦排気手段を遮断して大気開放部を接続し、しかる後、再び大気開放部を遮断して排気手段を接続する制御を行うように構成されていることを特徴とするヘリウムリークテスト装置。
FI (2件)：
G01M 3/20 A
, G01M 3/20 E
