基板処理装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮本治彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-212551
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107124
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】占有面積が小さくしかも稼働効率が高い基板処理装置を提供する。【解決手段】カセットローダ室10に連結モジュール300を取り外し可能に取り付ける。連結モジュール300を互いに離間して鉛直方向に積み重ねる。各連結モジュール300では、外ゲートバルブ62、ロードロック室52、ゲートバルブ64、搬送室54、ゲートバルブ66及び反応処理室56をカセットローダ室10からこの順に連結配置する。複数の連結モジュール300を鉛直方向に積み重ねて設けているから、占有面積を増加させない。複数の連結モジュール300を、互いに離間して、それぞれが取り外し可能に取り付けられているから、あるモジュールをメンテナンスのために容易に取り外すことができ、その間他の連結モジュール300を稼働させることができ、装置1の稼働効率が大幅に向上する。

請求項（抜粋）：

基板搬送部と、前記基板搬送部にそれぞれが取り外し可能に取り付けられた複数のモジュールと、前記基板搬送部内に設けられた第1の基板搬送手段であって、基板を前記複数のモジュールに搬送可能な第1の基板搬送手段と、を備える基板処理装置であって、前記複数のモジュールが、互いに離間して実質的に鉛直方向に積み重ねられ、前記複数のモジュールのそれぞれが、前記基板を処理する気密構造の基板処理室と、前記基板処理室と前記基板搬送部との間に設けられた気密構造の中間室と、前記基板処理室と前記中間室との間に設けられた第1のバルブであって閉じた場合には前記基板処理室と前記中間室との間を気密にすることができ、開いた場合には前記基板がその内部を通って移動可能な第1のバルブと、前記中間室と前記基板搬送部との間に設けられた第2のバルブであって閉じた場合には前記中間室と前記基板搬送部との間を気密にすることができ、開いた場合には前記基板がその内部を通って移動可能な第2のバルブとを備え、前記中間室には前記基板を前記基板処理室に搬送可能な第2の基板搬送手段が設けられていることを特徴とする基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B65G 49/00 , B65G 49/07 , H01L 21/02 , H05H 1/46

FI (5件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/00 A , B65G 49/07 Z , H01L 21/02 Z , H05H 1/46 A

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平3-274746
特開平4-271139
ウェハー処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-309685 出願人：エム・シー・エレクトロニクス株式会社

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