除害装置及び除害方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：岡本啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-073926
公開番号（公開出願番号）：特開2002-273168
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2002年09月24日
要約：

【要約】【課題】除害装置内のプラズマ生成部での反応生成物の付着を低減し、また反応生成物の付着が生じたときに容易にクリーニングすることができるとともに、エッチングや成膜等の処理チャンバに備え付けられた場合に被処理ガスの分解過程で生ずるエッチングや成膜に有害な物質の処理チャンバへの逆流を防止する。【解決手段】膜のエッチング、成膜又は装置のクリーニングに使用した、温暖化ガス又はオゾン層破壊ガスを含む反応ガスを排気し、排気の途中で、グロー放電によりプラズマ化した不活性ガスを含む、ほぼ大気圧を有するグロー放電プラズマ中で反応ガスを分解し、分解した反応ガスの構成粒子と反応処理ガスとを反応させて、非温暖化ガス或いはオゾン層非破壊ガス、又は既存の処理装置で無害なガスに変換する処理が可能なガスに、或いは既存の処理装置で除去し得る処理が可能なガスに変換する。

請求項（抜粋）：

温暖化ガス又はオゾン層破壊ガスを含む被処理ガスと、不活性ガスと、反応処理ガスとを含むほぼ大気圧を有する混合ガスを導入し、少なくとも前記不活性ガスをグロー放電によりプラズマ化して、該グロー放電プラズマにより前記被処理ガスを分解し、該分解した前記被処理ガスの構成粒子と前記反応処理ガスとを反応させて、非温暖化ガスに、或いはオゾン層非破壊ガスに、又は既存の処理装置で無害なガスに変換する処理が可能なガスに、或いは既存の処理装置で除去し得る処理が可能なガスに変換するグロー放電プラズマ生成部と、前記グロー放電プラズマ生成部の上流であって前記グロー放電プラズマ生成部に至るガス流路に接続された被処理ガス導入口と、前記グロー放電プラズマ生成部の上流であって前記グロー放電プラズマ生成部に至るガス流路に接続された不活性ガス導入口と、前記グロー放電プラズマ生成部の上流であって前記グロー放電プラズマ生成部に至るガス流路に接続された反応処理ガス導入口と、前記混合ガスのうち少なくとも前記不活性ガスをグロー放電によりプラズマ化するグロー放電プラズマ生成手段とを有することを特徴とする除害装置。

IPC (10件)：

B01D 53/70 , B01D 53/32 , B01D 53/34 ZAB , B01J 19/08 , C07B 37/06 , C07C 19/08 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H05H 1/24 , G21F 9/02 501

FI (10件)：

B01D 53/32 , B01J 19/08 E , C07B 37/06 , C07C 19/08 , H01L 21/205 , H05H 1/24 , G21F 9/02 501 Z , B01D 53/34 134 E , B01D 53/34 ZAB , H01L 21/302 B

Fターム (26件)：

4D002AA17 , 4D002AC10 , 4D002BA05 , 4D002BA07 , 4D002DA70 , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075BA05 , 4G075BD12 , 4G075CA47 , 4G075CA63 , 4G075DA01 , 4G075EB21 , 4G075EB41 , 4G075EC21 , 4H006AA05 , 4H006AC26 , 4H006BA91 , 4H006BB61 , 4H006BD21 , 4H006BD81 , 5F004AA13 , 5F004BC02 , 5F004BC04 , 5F045EG07 , 5F045EG08

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