特許

J-GLOBAL ID：200903036942862393

酸素感応皮膜の形成方法及びそれを利用した酸素センサー並びに圧力測定方法

発明者： 浅井 圭介
出願人/特許権者： 科学技術庁航空宇宙技術研究所長 ,  科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 大城 重信 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-207351
公開番号（公開出願番号）：特開平11-037944
出願日： 1997年07月17日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】 極低温及び常温雰囲気で極めて高い酸素感度を有する発光物質皮膜を容易に得ることができ、低温乃至常温雰囲気で高い酸素感度を有する酸素センサーを得、且つそれを利用して低温風洞や高層大気環境等の微酸素低温雰囲気で圧力分布を高感度で正確に且つ簡単に測定する。【解決手段】 金属母材1を陽極4として電解液3中で電気化学的に前記金属母材表面に多孔質の酸化皮膜を形成させ、該酸化皮膜が形成された前記金属母材を陰極16として、酸素感応特性を有する光励起物質の溶液13に浸して、酸素感応物質を電気化学的に酸化皮膜の前記微細孔に吸着させることにより、酸素透過性樹脂を用いることなく酸素感度を有する発光物質皮膜を得ることができる。

請求項（抜粋）：

金属母材面に多孔質の酸化皮膜を形成する酸化皮膜形成工程、該酸化皮膜表面に酸素感応物質を電気化学的に吸着させる酸素感応物質吸着工程からなることを特徴とする酸素感応皮膜の形成方法。

IPC (5件)：

G01N 21/77 ,  G01L 11/00 ,  G01N 21/64 ,  G01N 21/78 ,  G01N 31/00

FI (6件)：

G01N 21/77 A ,  G01N 21/64 C ,  G01N 21/64 B ,  G01N 21/78 A ,  G01N 31/00 L ,  G01L 11/00 Z