特許

J-GLOBAL ID：200903036947913514

動圧軸受装置

発明者： 横田 正明 ,  斎藤 憲久
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-274187
公開番号（公開出願番号）：特開平10-103343
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 動圧軸受のスリーブや回転軸等の加工コストを低減する。【解決手段】 回転多面鏡R1 と一体である回転軸2はスリーブ1に嵌合され、両者の間の空気の動圧によって非接触に支持される。スリーブ1はステンレス製であり、内面にヘリングボーン溝11を有し、両端部の幅2mmの環状部位には膜厚0.5μmの耐摩耗性皮膜12が蒸着されている。回転軸2にも同様の耐摩耗性皮膜22を蒸着し、みそすり運動等によって摩耗しやすい部分のみを局部的に保護する。

請求項（抜粋）：

相対的に回転自在に嵌合された軸部材とスリーブ部材を有し、両者のうちの少なくとも一方がこれらの対向面に動圧発生溝を有する動圧軸受装置であって、前記軸部材および前記スリーブ部材のうちの少なくとも一方が、前記対向面の両端部を局部的に覆う蒸着膜を備えていることを特徴とする動圧軸受装置。

IPC (4件)：

F16C 17/02 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/32 ,  C23C 16/50

FI (4件)：

F16C 17/02 A ,  C23C 14/06 F ,  C23C 14/32 Z ,  C23C 16/50