特許
J-GLOBAL ID：200903036950999772
ウエツトエツチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-329583
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144799
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】 高温処理槽を持つウェットエッチング装置において、薬液の加熱による有害な蒸気の処理槽外への放出を防止し、また、処理槽内へのゴミの混入を防止する。【構成】 処理槽1の上部にガス噴出口2を備え付け、ガス噴出口2より窒素ガス(又は乾燥空気)を出すことで処理槽1の上部にエアーカーテンを作る。そして、処理槽1とエアーカーテンの間を排気ダクト3で排気する。
請求項（抜粋）：
高温の処理槽を持つウェットエッチング装置であって、処理槽上部に、エアーカーテン用のガス噴出口を有することを特徴とするウェットエッチング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/306
, C23F 1/08 101
