マルチバンド照明型走査顕微鏡およびその光学要素

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-183689
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055283
出願日： 2001年06月18日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：

【要約】【課題】種々の波長および(または)波長範囲で試料の検査を可能にし、その際波長固有の構成要素の後調整を光路内で行なう必要のない走査顕微鏡を提供する。【解決手段】走査顕微鏡においては、照明光路(8)内に、少なくとも部分的にスペクトル拡散する照明光を生じさせる光学要素(4)を設ける。実質的に偏光と波長に依存しないビームスプリッター(11)を照明光路(8)および検出光路(15)内に位置固定して配置する。

請求項（抜粋）：

試料(14)を照明し、検出するための対物レンズ(13)を備え、対物レンズ(13)が照明光路(8)と検出光路(15)の両方に配置され、照明光路(8)と検出光路(15)にそれぞれ照明ピンホール(10)または検出光路(15)が配置されている走査顕微鏡において、照明光路(8)内に、少なくとも部分的にスペクトル拡散する照明光を生じさせる光学要素(4)が設けられていること、実質的に偏光と波長に依存しないビームスプリッター(11)が照明光路(8)および検出光路(15)内に位置固定して配置されていることを特徴とする走査顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/06 , G02B 5/00

FI (2件)：

G02B 21/06 , G02B 5/00 C

Fターム (16件)：

2H042AA02 , 2H042AA03 , 2H042AA16 , 2H042AA32 , 2H052AA07 , 2H052AA08 , 2H052AC04 , 2H052AC14 , 2H052AC15 , 2H052AC26 , 2H052AC28 , 2H052AC30 , 2H052AC34 , 2H052AD34 , 2H052AD35 , 2H052AF06

引用特許：

審査官引用 (4件)

顕微鏡光路中の短パルスレーザビームの結合のための装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-160631 出願人：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
検出光学系並びに立体形状検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-134668 出願人：株式会社日立製作所
特表平4-500129

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