特許

J-GLOBAL ID：200903036957527655

感光性組成物及び強誘電体薄膜の製造方法

発明者： 花畑 誠
出願人/特許権者： 株式会社関西新技術研究所
代理人 (1件)： 岡田 正広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-046876
公開番号（公開出願番号）：特開2000-247640
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】 感光性を有する強誘電体酸化物前駆体ゾルと有機ポリマーとを含む感光性組成物を提供する。この感光性組成物を用いた強誘電体薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】 構成金属元素としてTi、Zr及びPbを含み、かつ光反応性基を有する強誘電体酸化物前駆体ゾル(S)と、有機ポリマー(A)と、必要に応じて強誘電体酸化物微粒子(B)とを含む感光性組成物を基体上に塗布し、感光層を形成し、前記感光層に所定のパターンの露光を行い、現像することにより、所定のパターンを形成し、その後、加熱、焼成を行い、強誘電体薄膜を製造する。

請求項（抜粋）：

強誘電体酸化物を得るための前駆体ゾルであって、前記前駆体は、構成金属元素として、チタン、ジルコニウム及び鉛を含み、かつ光反応性基を有するものである、強誘電体酸化物前駆体ゾル。

IPC (9件)：

C01G 25/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  C04B 35/49 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/40 521 ,  H01B 3/00 ,  H01B 3/12 301 ,  H01L 41/187

FI (9件)：

C01G 25/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/40 521 ,  H01B 3/00 F ,  H01B 3/00 A ,  H01B 3/12 301 ,  B41J 3/04 103 A ,  C04B 35/49 A ,  H01L 41/18 101 D

Fターム (56件)：

2C057AF22 ,  2C057AF33 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP57 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CB06 ,  2H025CC06 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA15 ,  2H025FA29 ,  2H096AA00 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA03 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA32 ,  4G031BA09 ,  4G031CA08 ,  4G048AA03 ,  4G048AA08 ,  4G048AB02 ,  4G048AC02 ,  4G048AC08 ,  4G048AD10 ,  4G048AE08 ,  5G303AA10 ,  5G303AB20 ,  5G303BA03 ,  5G303BA07 ,  5G303CA01 ,  5G303CA09 ,  5G303CB25 ,  5G303CB35 ,  5G303CB39 ,  5G303CD03 ,  5G303CD04 ,  5G303DA02 ,  5G303DA06