光学装置及びその調整方法及びエネルギー線伝播装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-114591
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317429
出願日： 2003年04月18日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】複数の鏡管ユニットから構成され、前記複数の鏡管ユニット相互間の傾き角が高精度に調整された光学装置を提供すること。【解決手段】それぞれ平面基板の一方の面上にエネルギー線を反射する反射膜を形成した複数の平面反射鏡を該反射膜を内側にして構成し、内側に複数の反射面を形成してなるユニットを複数具え、前記平面基板の前記反射膜が形成されている面の対向面に前記複数のユニットの配置を調整する為に用いる調整光を入射させる調整光入射窓を前記ユニット毎に少なくとも一つ具え、各前記調整光入射窓を通して入射させた前記調整光の前記反射膜からの裏面反射光の方向の前記ユニット相互間に於ける偏角を測定することにより、前記ユニットが有する前記反射面の面方向の前記ユニット相互間に於ける傾きが所定角度に調整されており、内面反射を利用する光学装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

それぞれ平面基板の一方の面上にエネルギー線を反射する反射膜を形成した複数の平面反射鏡を該反射膜を内側にして構成し、内側に複数の反射面を形成してなるユニットを複数具え、前記平面基板の前記反射膜が形成されている面の対向面に前記複数のユニットの配置を調整する為に用いる調整光を入射させる調整光入射窓を前記ユニット毎に少なくとも一つ具え、各前記調整光入射窓を通して入射させた前記調整光の前記反射膜からの裏面反射光の方向の前記ユニット相互間に於ける偏角を測定することにより、前記ユニットが有する前記反射面の面方向の前記ユニット相互間に於ける傾きが所定角度に調整されており、内面反射を利用することを特徴とする光学装置。

IPC (3件)：

G21K1/06 , G02B7/198 , G21K5/02

FI (4件)：

G21K1/06 B , G21K1/06 P , G21K5/02 N , G02B7/18 B

Fターム (1件)：

2H043BC01

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