特許

J-GLOBAL ID：200903036966468769

走査型プロキシミティ露光方法及び装置

発明者： 藤田 佳児 ,  長野 寛之 ,  井上 隆史 ,  中川 亨
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-025647
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220769
出願日： 1995年02月14日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 走査型プロキシミティ露光方式において、マスクと基板間の干渉の恐れをなくし安定して所定のギャップを実現する。【構成】 照明光照射部とその外側に配置された複数の流体の吹き出し口11を有する流体押圧部とを有する光学ヘッド7と、走査位置によって各吹き出し口11から吹き出す流体の圧力を変化させる電空レギュレータ12とを備え、複数の吹き出し口11から流体を吹き出すとともに照明光を当てる走査位置によって各吹出し口11の圧力を変化させる。また、走査位置に応じて、各吹き出し口をオン・オフし、又は吹き出しヘッドを移動させ、又は基板チャックを真空吸着して基板4側をたわませる。

請求項（抜粋）：

基板とマスクをわずかな近接距離で対向させて支持し、基板と反対側から流体で静圧を与えてマスクを弾性変形させ、局所的に基板とマスクとの近接距離を短くしながら照明光を照射してマスク面を走査し、マスクに描かれたパターンを基板上に塗布した感光剤に転写する走査型プロキシミティ露光方法において、照明光の照射手段の周囲に設けた吹き出し口から流体を吹き出すとともに照明光を当てる走査位置によって吹き出し流体の圧力を変化させることを特徴とする走査型プロキシミティ露光方法。

IPC (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 509 ,  H01L 21/30 518