特許
J-GLOBAL ID：200903036983384560
マイクロミラー、そのマイクロミラーを搭載するMEMS及びそのMEMSの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
岡田 賢治
, 今下 勝博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-277267
公開番号（公開出願番号）：特開2008-096620
出願日： 2006年10月11日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
【課題】従来の高充填比の可動ミラーを持つマイクロミラーは、可動ミラーの可動方向が制限されており、これを回避するためには複雑な構造が必要となり、製造コストが上昇するという課題があった。そこで、本発明は、二軸回転の自由度が大きい可動ミラーを高充填比で有する簡易な構造のマイクロミラー、そのマイクロミラーを搭載するMEMS及び低コストでそのMEMSを製造できる製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係るマイクロミラーは、二つの支点間に並べられた3枚の平板をヒンジで連結した構造であり、中央の平板の両端には二軸回転が可能なヒンジを使用している。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
第一支点と第二支点との間に順に並べられた第一平板、一の面がミラー面である第二平板及び第三平板と、
前記第一支点と前記第一平板の縁との間を連結し、前記第一平板の表面と平行且つ前記第一支点から前記第二支点の方向と垂直な方向を回転軸とする第一ヒンジと、
前記第一ヒンジと反対側の前記第一平板の縁と前記第二平板の縁との間を連結し、前記第一ヒンジの回転軸と平行な方向を一の回転軸及び前記第一支点から前記第二支点の方向と平行な方向を他の回転軸とする第二ヒンジと、
前記第二ヒンジと反対側の前記第二平板の縁と前記第三平板の縁との間を連結し、前記第一ヒンジの回転軸と平行な方向を一の回転軸及び前記第一支点から前記第二支点の方向と平行な方向を他の回転軸とする第三ヒンジと、
前記第三ヒンジと反対側の第三平板の縁と前記第二支点との間を連結し、前記第一ヒンジの回転軸と平行な方向を回転軸とする第四ヒンジと、
を有し、前記第二平板を二軸回転させる構造のマイクロミラー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2H041AA14
, 2H041AA18
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
