特許
J-GLOBAL ID:200903036986607730

サーマルヘツドおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 須山 佐一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-273925
公開番号(公開出願番号):特開平5-057927
出願日: 1991年10月22日
公開日(公表日): 1993年03月09日
要約:
【要約】【目的】 発熱抵抗体の比抵抗値のバラツキを本質的に極力小さくすることが可能で、かつ安定化を容易に図ることが可能なサーマルヘッドおよびその製造方法を提供する。【構成】 絶縁性支持基板上には、酸化珪素を15mol%〜70mol%の範囲で含み、残部が実質的にNbあるいはNb合金からなる複合体によって形成された、多数の発熱抵抗体4が設けられている。絶縁性支持基板としては、 Fe-Cr合金等からなる支持基板1上に耐熱樹脂層2としてポリイミド樹脂層を、またこの耐熱樹脂層2上に Si-Zr-Y-N-O化合物等からなる樹脂保護層3を設けたものや、セラミックス基板上にグレーズガラス層を設けたもの等が用いられる。発熱抵抗体4上には、発熱部5となる開口を形成する如くAl等からなる導電層6、すなわち個別電極および共通電極が形成され、少なくともこの発熱部5を被覆するように Si-Zr-Y-N-O化合物等からなる保護層7が形成されている。
請求項(抜粋):
絶縁性支持基体と、この絶縁性支持基体上に形成された多数の発熱抵抗体と、これら各発熱抵抗体に接続された導電体とを具備するサーマルヘッドにおいて、前記発熱抵抗体は、酸化珪素を15mol%〜70mol%の範囲で含み、残部が実質的にNbあるいはNb合金からなる複合体により形成されていることを特徴とするサーマルヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/335 ,  H01C 7/00 ,  H01C 17/12

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