特許

J-GLOBAL ID：200903036989270010

表示装置

発明者： 山崎 舜平
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-092935
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268360
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 液晶パネルにおけるTFTの発熱の問題に対処する。【解決手段】 TFT105、109、113上に設けられた樹脂層間膜123上にDLC膜125を設ける。DLC膜125は、樹脂膜上の容易に成膜することができ、また熱伝導率が高いので、放熱層として機能させることができる。

請求項（抜粋）：

同一基板上に配置された画素マトリクス部と周辺駆動回路部とを有し、前記画素マトリクス部と周辺駆動回路部とには、薄膜トランジスタが配置されており、前記薄膜トランジスタ上方には樹脂材料でなる層間絶縁膜が配置されており、前記層間絶縁膜上には炭素膜が成膜されていることを特徴とする表示装置。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/786

FI (4件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 B ,  H01L 29/78 619 A ,  H01L 29/78 621