特許

J-GLOBAL ID：200903036991753141

面形状測定装置

発明者： 保坂 光太郎 ,  大塚 勝 ,  神谷 誠一 ,  吉田 延行 ,  櫻井 勝二 ,  岩田 三樹男
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-307895
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125511
出願日： 1997年10月22日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：

【要約】【課題】 光学部品等の3次元的な面形状を干渉を利用して高精度に測定することができる面形状測定装置。【解決手段】 測定物の複数個の測定面の面形状を干渉光学系で得られる面形状測定装置であって、該干渉光学系は該複数の測定面に各々対応して設けた部分光学系と、該複数の測定面のうちの1つの測定面からの干渉情報が画像検出手段に入射するように光路を切り替える光路切り替え部材とを有していること。

請求項（抜粋）：

測定物の複数個の測定面の面形状を干渉光学系で得られる面形状測定装置であって、該干渉光学系は該複数の測定面に各々対応して設けた部分光学系と、該複数の測定面のうちの1つの測定面からの干渉情報が画像検出手段に入射するように光路を切り替える光路切り替え部材とを有していることを特徴とする面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02 ,  G01M 11/00

FI (3件)：

G01B 11/24 D ,  G01B 9/02 ,  G01M 11/00 L

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-319609