特許

J-GLOBAL ID：200903036994339249

透明酸化アルミニウム前駆体ゲル状物からの薄膜製造方法

発明者： 林 宏明
出願人/特許権者： 株式会社槌屋
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-131103
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070122
出願日： 1991年06月03日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】 緻密な透明酸化アルミニウム薄膜の作製と薄膜作製用溶液の長期安定化を目的とする【構成】【化1】(式中、RはC1 からC4 のアルキル基である)で表わされるようなAl-O-Al結合を主鎖とし、OCOR基を側鎖にもつ重合体からなる、透明酸化アルミニウム前駆体ゲル状物を加熱して、有機溶媒に溶解することにより、酸化アルミニウム薄膜作製用透明溶液を調製する。この溶液を成形物に塗布、乾燥の後、加熱処理することにより、酸化アルミニウム薄膜を構成する。【効果】 前駆体中の未反応アルコキシ基を著しく減少させたゲル状物を使用することにより、薄膜作製用溶液の水分に対する安定性が非常に高くなり、塗布行程での厳密な雰囲気制御が不必要となった。さらに、前駆体中の残留有機物の影響による、ピンホールやクラックなどの発生をなくし、緻密な透明薄膜を作製することが可能となった。

請求項（抜粋）：

A1-O-A1結合を主鎖とし、側鎖にOCOR基(ここで、Rは炭素数1〜4の直鎖または分岐のあるアルキル基を示す)を有する重合体から成る透明酸化アルミニウム前駆体ゲル状物を、加熱して有機溶媒に溶解することによって、得られる透明溶液を、成形物に塗布、加熱することを特徴とする透明酸化アルミニウム薄膜製造方法。

IPC (5件)：

C01F 7/02 ,  B28B 1/30 101 ,  C01F 7/30 ,  C03C 17/25 ,  C23C 18/12