特許
J-GLOBAL ID：200903036995319640
X線管およびマイクロエレクトロニクス整合工程
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-547997
公開番号（公開出願番号）：特表2001-523384
出願日： 1997年05月05日
公開日（公表日）： 2001年11月20日
要約：
【要約】コンパクトなX線管アセンブリ(9)はセラミック管状囲い(11)によって囲まれている真空の室(10)と、室内のエミッタ(19)に一端が接続され取り付けられている電源装置(12)と、電子のビームを金属箔ターゲット(15)上に集束させるための静電手段(17)と、他端が前記ターゲット(15)からなる端部窓(14)とからなり、金属箔ターゲットの厚さ並びに組成および電子ビーム・エネルギを選択することによって予め選択されたエネルギのX線のマイクロフォーカスされた明るいビームが生成される。コンパクトなアセンブリはマイクロエレクトロニクス部品の生産に使用される層を整合または位置づける方法に有用である。
請求項（抜粋）：
約9インチ(228.6mm)以下の軸方向の長さおよび約4インチ(101.6mm)以下の直径を有するコンパクトなX線管アセンブリであって、セラミック管状囲いによって囲まれている真空の室と、前記囲いの一端に取り付けられ且つ電力源に接続可能な電源装置と、前記室内に設けられ且つ前記電源装置に隣接しているエミッタ手段とからなり、前記エミッタ手段は電子ビームを発するための微細な要素で終わり、前記電子ビームを金属箔ターゲット上に集束させるための前記室内の静電集束手段とからなり、前記エミッタ手段および前記静電集束手段は前記電源装置に接続され、端部壁からなる前記囲いの反対側の端部に設けられた端部窓と、前記端部壁に設けられているX線に対して透明な窓と、前記金属箔ターゲットを有する前記窓の内側表面とからなり、金属箔ターゲットの厚さ並びに組成および電子ビーム・エネルギを選択することによって予め選択されたエネルギのX線のマイクロフォーカスされた明るいビームが生成されるX線管。
引用特許：
前のページに戻る
