静電チャックおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-057162
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244321
出願日： 2000年03月02日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウム質セラミックスを基材とするジョンソン-ラーベックタイプの静電チャックにおいて、脱着応答性の低下を防止し、これによって脱着応答性にバラツキが生ずるのを防止する。【解決手段】静電チャックは、前記基体と、基体内に埋設された静電チャック電極とを備えている。この静電チャック電極が、金属モリブデンまたはモリブデン合金からなる本体、およびこの本体を被覆する実質的にモリブデン元素を含有しない導電性被膜を備えている。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム質セラミックスからなる基体と、この基体内に埋設された静電チャック電極とを備えており、前記静電チャック電極が、金属モリブデンまたはモリブデン合金からなる本体、およびこの本体を被覆する実質的にモリブデン元素を含有しない導電性被膜を備えていることを特徴とする、静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15

FI (2件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D

Fターム (7件)：

3C016GA10 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA06 , 5F031HA17 , 5F031HA35

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