特許

J-GLOBAL ID：200903037009128278

真空内基板搬送装置

発明者： 佐藤 敏
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-259003
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102526
出願日： 1995年10月05日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】 スループットを向上し、搬送装置からの発塵・汚染を防止でき、容器内が大気または真空時、搬送装置の上下方向の位置がずれることがなく、容器板厚をできるだけ薄く、かつ容器重量をできるだけ軽くすることのできる基板搬送装置を提供する。【解決手段】 真空容器1の上面板1aと底面板1bには旋回軸30が支持され、その旋回軸30に多段関節リンク機構Aを設け、その多段関節リンク機構Aの搬送腕を複数段取付けたことを特徴とする。また、多段関節リンク機構Aの第1と第2の関節リンク52,57を共通にし、この第1の関節リンク52を3腕の関節リンク構造の搬送腕を駆動する基板搬送装置のある軸に固定し、この1つの第2の関節リンク57上に櫛歯状の第3腕を垂直に固定し、複数段の第3の関節リンク62,62・・・は1つの櫛歯状の第3腕に夫々保持してなる。

請求項（抜粋）：

真空容器(1)の上面板(1a)と底面板(1b)には旋回軸(30)が支持され、その旋回軸(30)に多段関節リンク機構(A)を設け、その多段関節リンク機構(A)の搬送腕を複数段取付けたことを特徴とする真空内基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B65G 49/07 C