特許

J-GLOBAL ID：200903037010243447

静電チャック及びそのチャックからのシリコンウェハ 離脱方法

発明者： 南 信之 ,  丹治 清一 ,  久保田 雅 ,  浅井 義博
出願人/特許権者： 日本セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-317064
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139419
出願日： 1995年11月13日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 シリコンウェハを速やかに離脱する静電チャック及びそのチャックからのシリコンウェハの離脱方法の提供。【解決手段】 上層に誘電体、中層に電極、下層に基盤から成る静電チャックにおいて、該電極を、シリコンウェハと対向する電極の下部に、さらに別の電極を設けた2重電極とする静電チャック。この静電チャックからのシリコンウェハ離脱方法において、静電チャックに内在する上部電極に印加しているバイアス電圧を遮断すると同時に、上部電極と下部電極間に上部電極を正極として直流電圧を印加することによりシリコンウェハを離脱する静電チャックからのシリコンウェハ離脱方法。

請求項（抜粋）：

上層に誘電体、中層に電極、下層に基盤から成る静電チャックにおいて、該電極を、シリコンウェハと対向する電極の下部に、さらに別の電極を設けた2重電極とすることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-003251
  
• 特開平2-160444
  
• 特開平1-181544