特許

J-GLOBAL ID：200903037013480253

洗浄装置および洗浄方法

発明者： 丸山 正和 ,  岩瀬 泉
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-252625
公開番号（公開出願番号）：特開2004-089807
出願日： 2002年08月30日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】ガラス基板を一枚づつ水平方向に搬送しつつ、ガラス基板の両面側から複数の回転する円形の洗浄体を押接して洗浄を行う枚葉式洗浄装置において、隣接する円形の洗浄体の境界部で洗浄力が弱いことによる洗浄ムラにより発生する、すすぎ乾燥後の洗浄ジミをなくす。【解決手段】ガラス基板を一枚づつ水平方向に搬送しつつガラス基板の両面側から回転する複数の円形の洗浄体を押接して洗浄を行う枚葉式洗浄装置による洗浄方法において、円形の洗浄体の中心と回転駆動軸の取り付け位置をずらした円形の洗浄体を偏芯回転させることによって、隣接する円形の洗浄体の、ガラス基板表面の擦る部分を重複させ、ガラス基板全面を均一に洗浄する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ガラス基板を一枚づつ水平方向に搬送しつつガラス基板の両面側から回転する複数の円形の洗浄体を押接して洗浄を行う枚葉式洗浄装置であって、該洗浄体の円心と洗浄体の回転駆動軸の取り付け位置をずらした複数の円形の前記洗浄体を偏芯回転させる機構を有し、洗浄体の寸法を隣接する洗浄体の擦る部分が重複する大きさとすることを特徴とする枚葉式洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B1/04 ,  C03C23/00 ,  G02F1/1333

FI (3件)：

B08B1/04 ,  C03C23/00 A ,  G02F1/1333 500

Fターム (9件)：

2H090JC19 ,  3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116AB14 ,  3B116BA08 ,  3B116BB21 ,  4G059AA08 ,  4G059AB19 ,  4G059AC30