特許

J-GLOBAL ID：200903037020557563

バンプ形状検査装置

発明者： 安藤 護俊 ,  岩田 敏 ,  西山 陽二 ,  鈴木 伸二
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-316681
公開番号（公開出願番号）：特開平5-152401
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】 本発明はバンプ形状検査装置に関し、正確に、かつ、安価にバンプ形状を測定できるバンプ形状検査装置を提供することを目的としている。【構成】 プリント板にバンプ接合した所定部材を計測対象物とし、該バンプ接合の形状を検査するバンプ形状検査装置であって、前記計測対象物に赤外線を照射する赤外線照射手段と、該計測対象物により反射した赤外線を検出する赤外線検出手段とを備えるように構成する。

請求項（抜粋）：

プリント板にバンプ接合した所定部材を計測対象物とし、該バンプ接合の形状を検査するバンプ形状検査装置であって、前記計測対象物に赤外線を照射する赤外線照射手段と、該計測対象物により反射した赤外線を検出する赤外線検出手段と、を備えることを特徴とするバンプ形状検査装置。