特許

J-GLOBAL ID：200903037023181564

ターゲットおよびその製造方法

発明者： 海上 暁 ,  服部 哲治 ,  笘井 重和
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (1件)： 中村 静男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-241064
公開番号（公開出願番号）：特開平9-071860
出願日： 1995年09月20日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】 一般式In2O3(ZnO)m(m=2〜7)で表される六方晶層状化合物を含み、かつInとZnの原子比[In/(In+Zn)]が0.2〜0.9である酸化物の焼結体からなり、体積抵抗率が10-2Ωcm以下であることを特徴とするターゲット。【解決手段】 本発明のターゲットは、これを製膜に使用したときに得られる透明導電膜が導電性、耐湿熱性に優れているだけでなく、製膜使用時に異常放電および割れがないという効果を有する。

請求項（抜粋）：

一般式In2O3(ZnO)m(m=2〜7)で表される六方晶層状化合物を含み、かつInとZnの原子比[In/(In+Zn)]が0.2〜0.9である酸化物の焼結体からなり、体積抵抗率が10-2Ωcm以下であることを特徴とするターゲット。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  C01G 9/02 ,  C01G 15/00 ,  C04B 35/495 ,  C23C 14/08

FI (5件)：

C23C 14/34 A ,  C01G 9/02 A ,  C01G 15/00 B ,  C23C 14/08 K ,  C04B 35/00 J

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 導電性透明基材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-315075   出願人：出光興産株式会社

審査官引用 (1件)

• 導電性透明基材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-315075   出願人：出光興産株式会社