特許
J-GLOBAL ID：200903037025920399
ガス軟窒化処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-260269
公開番号（公開出願番号）：特開平11-100655
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】素材の表面に生成する化合物層の厚みの過剰化の抑制、ポーラス化の抑制に有利なガス軟窒化処理方法を提供すること。【解決手段】ガス軟窒化処理方法は、アンモニアガスを含む圧力200Torr以下の窒化雰囲気中で素材を、570°C未満の窒化温度に加熱して窒化を行う窒化処理工程と、圧力200Torr以下で窒化処理工程よりもアンモニアガス濃度が少ないまたはアンモニアガスを含まない窒化雰囲気中で、素材を570°C〜650°Cの温度に保持する拡散処理工程とを含む。更に、アンモニアガスを含む圧力200Torr以下の窒化雰囲気中で素材を、570°C未満の窒化温度に加熱して窒化を行う第2段目の窒化処理工程を実施してもよい。
請求項（抜粋）：
アンモニアガスを含む圧力200Torr以下の窒化雰囲気中で素材を、570°C未満の窒化温度に加熱して窒化を行う窒化処理工程と、圧力200Torr以下で窒化処理工程よりもアンモニアガス濃度が少ないまたはアンモニアガスを含まない雰囲気中で、前記素材を570°C〜650°Cの温度に保持する拡散処理工程とを含むことを特徴とするガス軟窒化処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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