特許
J-GLOBAL ID：200903037030599264
液晶ディスプレイ基板の検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-241043
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264461
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【構成】 本発明は、検査対象の液晶ディスプレイ基板1に対向配置される電気光学素子10と、それらの間に電圧を印加するための電源と、電気光学素子に対して光を照射するための光源12と、電気光学素子からの反射光を受光する受光器13と、電源を基板に対して電気的に接続するためのコネクタ20を備える。そのコネクタは、表面に変形可能な電極22が設けられた棒状の弾性体21を支持体23に保持した構成とされ、弾性体を基板に押し付けることによって支持体、電極を介して電源と基板との電気的な接続を行う。【効果】 液晶ディスプレイ基板の製造工程においてそれ自体の欠陥を検査することが可能となり、液晶表示パネルの歩留まりの向上、低価格化を実現できる。また、コネクタを基板に押し付けるのみで電源と基板との電気的な接続が極めて容易に行えるとともに、それらの接触面積と接触面圧が十分に確保される。
請求項（抜粋）：
表面にゲート配線とソース配線と画素電極と薄膜トランジスタとが形成されてなる液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査するための装置であって、前記液晶ディスプレイ基板の表面側に、電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学素子を微小間隔をおいて対向配置し、その電気光学素子と前記液晶ディスプレイ基板の各画素電極との間に電源により電圧を印加するとともに、前記電気光学素子の背面に対して光源から光を照射してその反射光を受光器により受光して観察するように構成され、かつ、前記電源を前記液晶ディスプレイ基板のゲート配線とソース配線を介して前記画素電極に電気的に接続するためのコネクタを有し、そのコネクタは、液晶ディスプレイ基板の表面に押し付けられる棒状の弾性体と、その弾性体の表面に設けられて前記ソース配線やゲート配線に直接的にもしくは間接的に接触する変形可能な電極と、その電極に接触する状態で前記弾性体を保持する支持体から構成され、その支持体が前記電源に対して電気的に接続されてなることを特徴とする液晶ディスプレイ基板の検査装置。
IPC (7件)：
G01N 21/88
, G01M 11/00
, G01R 31/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1345
, G09F 9/00 352
, H01L 21/66
