平面型限界電流式センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田下明人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-153612
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326268
出願日： 1998年05月18日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】測定精度を向上させた平面型限界電流式センサを提供する。【解決手段】固体電解質基板22の同一面上に陰電極34aと陽電極32aとを配設し、陰電極-陽電極間に0.8Vの電位を印加して酸素濃度を測定する平面型限界電流式センサ10において、陰電極34aと陽電極32aとの面積比を1:2に設定することで、陰電極と陽電極との面積を等しくした場合と比較して、素子抵抗を74%まで低下させることができる。このため、平面型限界電流式センサの測定精度を向上させることが可能となる。

請求項（抜粋）：

固体電解質基板の同一面上に陰電極と陽電極とを配設してなる平面型限界電流式センサにおいて、前記陰電極の面積と前記陽電極の面積とを異ならしめたことを特徴とする平面型限界電流式センサ。

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平2-147853
特開平2-147853
特開平2-147853

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